Elaboration de couches minces supraconductrices Y ₁Ba ₂CU ₃O ₇ par pulverisation magnetron r.f.

(Reçu le 6 mars 1990, révisé le 25 octobre 1990, accepté le 5 novembre 1990)

Abstract
Y ₁Ba ₂CU ₃O ₇ superconducting thin films have been prepared by radio frequency magnetron sputtering of a stoichiometric target using a two step process : deposition of an amorphous film followed by a thermal treatment at high temperature ( >800 C). This paper describes the difficulties associated with this technique an the solutions which can be used to overcome them. Using a special configuration of the electrodes, near stoichiometric thin films have been grown over large areas. After cristallisation, thin films on YSZ, MgO and SrTiO ₃ substrates are superconducting with transitions widths less than 2 K. The best results have been obtained on SrTiO ₃ with a critical current density more than 10 ⁶ A/cm ² at 77 K.

Résumé
Des couches minces d'oxyde supraconducteur Y ₁Ba ₂CU ₃O ₇ ont été préparées par pulvérisation magnétron r.f. d'une cible stoechiométrique 1 : 2 : 3 selon un procédé en deux étapes: dépôt amorphe suivi d'un recuit de cristallisation. Cet article décrit les difficultés inhérentes à cette méthode ainsi que les solutions qui leur ont été apportées. Une géométrie particulière des électrodes permet d'obtenir des couches minces de composition proche de la stoechiométrie sur une surface de diamètre supérieur à 40 mm. Par un recuit de cristallisation approprié, des transitions résistives de largeur inférieure à 2 K ont été mesurées sur des couches minces déposées sur YSZ, MgO et SrTiO ₃. Les meilleurs résultats sont obtenus pour SrTiO ₃ avec une densité de courant critique supérieure à 10 ⁶ A/cm ² à 77 K.