| Numéro |
J. Phys. III France
Volume 3, Numéro 11, November 1993
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| Page(s) | 2149 - 2161 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp3:1993267 | |
J. Phys. III France 3 (1993) 2149-2161
Méthode de mesure de distributions de charges électriques de surface
G. Charpak, G. Cordurié, J. Lewiner and D. MorisseauLaboratoire d'Électricité Générale, E.S.P.C.I., 75231 Paris, France
(Reçu le 25 septembre 1992, révisé le 24 mai 1993, accepté le 4 août 1993)
Abstract
A method of measuring the charge distribution on a dielectric or semiconductor
surface is described. The electronic measuring system and the sweeping apparatus
are fast enough (5 lines of 400 points by second) to enable charge imaging.
Experiments have been performed in various fields: X ray and
ray imaging,
detection of
particles, evolution of charge distribution on semiconductor
related substrates.
Résumé
Une méthode de mesure des distributions de charges électriques superficielles
sur un diélectrique ou un photoconducteur est décrite. Les dispositifs électroniques
de mesure et de balayage permettent une lecture suffisamment rapide
(2 000 points par seconde) pour réaliser une image de distribution de charges.
Des expériences ont été menées dans différents domaines : imagerie X ou
,
détection de particules
, suivi de profils de charges sur des supports
associés à des semiconducteurs.
© Les Editions de Physique 1993