Contribution de la mesure de température par micro-sonde thermoélectrique a la microscopie thermique

(Reçu le 14 décembre 1993, révisé le 25 avril 1994, accepté le 10 juin 1994)

Abstract
New non destructive investigation techniques by means of photoacoustic and photothermal phenomena have appeared and are growing up for more than 15 years. The low thermal inertia of thermoelectrical microprobes allows the detection of thermal waves produced around an absorbing surface heated by a modulated laser beam. It is possible to measure thermal characteristics of thin samples in transmission mode. On the other hand, the thermal microscopy can be operated in the reflection mode for surface imaging or microcircuit defects detection ; in this case the lateral resolution is given by the excitation beam diameter (a few micrometers).

Résumé
Depuis une quinzaine d'années, de nouvelles techniques d'investigation non destructives faisant appel aux phénomènes photoacoustique et photothermique sont apparues et ont connu un développement important. Reposant sur le principe de détection de la température de l'air proche d'un objet soumis à un faisceau laser modulé en amplitude, l'utilisation d'un simple microcapteur thermoélectrique est rendue possible par ses qualités dynamiques élevées. Facilement mise en oeuvre en transmission, où l'accès aux grandeurs thermiques d'un échantillon mince est possible, elle peut être une alternative simple dans le cas de la microscopie thermique, plus particulièrement dans l'imagerie de surface ou la détection des défauts sur circuits, la résolution latérale étant liée au diamètre du faisceau d'éclairage (quelques microns).