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Article cité :

Dérives thermiques du capteur de pression capacitif microélectronique

A. Ettouhami, A. Essaid, N. Ouakrim, L. Michel, M. Limouri

J. Phys. III France, 7 7 (1997) 1537-1548

DOI: https://doi.org/10.1051/jp3:1997206

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Références

Citations de cet article :

A novel capacitive pressure sensor structure with high sensitivity and quasi-linear response

Aziz Ettouhami, Noureddine Zahid and Mourad Elbelkacemi
Comptes Rendus. Mécanique 332 (2) 141 (2004)
https://doi.org/10.1016/j.crme.2003.10.001