Gravure hélicon de l'InP en plasma HBr. Morphologie et caractérisation des défauts de surfaceJ. Etrillard, P. Ossart, G. Patriarche et J.M. FrancouJ. Phys. III France, 5 5 (1995) 467-481DOI: https://doi.org/10.1051/jp3:1995140
