Etude physicochimique et structurale de nitrures et d'oxynitrures de silicium très minces formés par traitement thermique rapideR. Saoudi, G. Hollinger, M. Pitaval et P. MolleJ. Phys. III France, 5 5 (1995) 557-573DOI: https://doi.org/10.1051/jp3:1995146
