Détermination des contraintes résiduelles et de la microstructure intra-granulaire dans des films minces de W déposés par pulvérisation magnétronV. Branger, N. Durand, A.M. Haghiri-Gosnet, K.F. Badawi et M.F. RavetJ. Phys. III France, 7 6 (1997) 1247-1260DOI: https://doi.org/10.1051/jp3:1997186
