Journal de Physique III

Gravure hélicon de l'InP en plasma HBr. Morphologie et caractérisation des défauts de surface

J. Etrillard, P. Ossart, G. Patriarche et J.M. Francou

J. Phys. III France, 5 5 (1995) 467-481

DOI: 10.1051/jp3:1995140

J. Etrillard

P. Ossart

G. Patriarche

J.M. Francou

articles ayant parmi leurs auteurs TOUS les auteurs sélectionnés (ET)

articles ayant parmi leurs auteurs AU MOINS un auteur identique à ceux sélectionnés (OU)