Journal de Physique III

Etude physicochimique et structurale de nitrures et d'oxynitrures de silicium très minces formés par traitement thermique rapide

R. Saoudi, G. Hollinger, M. Pitaval et P. Molle

J. Phys. III France, 5 5 (1995) 557-573

DOI: 10.1051/jp3:1995146

R. Saoudi

G. Hollinger

M. Pitaval

P. Molle

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