Journal de Physique III

Laser Beam Lithography for Direct Patterning of Interconnections on Prediffused ASIC's

A. Fleury, E. Saint-Christophe, H. Frémont, M. Fathi, G. N'Kaoua et Y. Danto

J. Phys. III France, 5 9 (1995) 1455-1467

DOI: 10.1051/jp3:1995203

A. Fleury

E. Saint-Christophe

H. Frémont

M. Fathi

G. N'Kaoua

Y. Danto

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