Journal de Physique III

Préparation et caractérisation de couches minces d'oxynitrure de phosphore destinées à la passivation d'InP

H. Hbib, O. Bonnaud, A. Quemerais, M. Gauneau, J. L. Adam et R. Marchand

J. Phys. III France, 6 11 (1996) 1489-1506

DOI: 10.1051/jp3:1996198

H. Hbib

O. Bonnaud

A. Quemerais

M. Gauneau

J. L. Adam

R. Marchand

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