Journal de Physique III

Dérives thermiques du capteur de pression capacitif microélectronique

A. Ettouhami, A. Essaid, N. Ouakrim, L. Michel and M. Limouri

J. Phys. III France, 7 7 (1997) 1537-1548

DOI: 10.1051/jp3:1997206

A. Ettouhami

A. Essaid

N. Ouakrim

L. Michel

M. Limouri

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