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Lateral damage extension during masked ion implantation into GaAs

M. M. Faye, C. Vieu, G. Ben Assayag, Ph. Salles and A. Claverie
Journal of Applied Physics 80 (8) 4303 (1996)
https://doi.org/10.1063/1.363378

Relation Between Structure and Carrier Lifetime in As-Implanted GaAs

Z. Liliental-Weber, W. Swider, H. Kagiichi, et al.
MRS Proceedings 378 677 (1995)
https://doi.org/10.1557/PROC-378-677

Semi-insulating GaAs made by As implantation and thermal annealing

A. Claverie, F. Namavar, Z. Liliental-Weber, P. Dreszer and E.R. Weber
Materials Science and Engineering: B 22 (1) 37 (1993)
https://doi.org/10.1016/0921-5107(93)90220-H

Formation of As precipitates in GaAs by ion implantation and thermal annealing

A. Claverie, Fereydoon Namavar and Z. Liliental-Weber
Applied Physics Letters 62 (11) 1271 (1993)
https://doi.org/10.1063/1.108704

Two-Dimensional Damage Distributions Induced by Localized Ion Implantations

M. M. Faye, L. Laanab, J. Beauvillain, et al.
MRS Proceedings 283 (1992)
https://doi.org/10.1557/PROC-283-783