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Article cité :

Système de mesure de l'énergie d'électrons rétrodiffusés en fonction de l'angle d'émission

Pascal Gérard, Jean-Louis Balladore, Henri Pinna, Abdelghafour Ouabbou, Jean-Paul Martinez

J. Phys. III France, 2 6 (1992) 1015-1027

DOI: https://doi.org/10.1051/jp3:1992175

Citations de cet article :

Reflection of keV-energy electrons from multilayer surfaces

V. P. Afanas’ev, A. V. Lubenchenko, S. D. Fedorovich and A. B. Pavolotskii
Technical Physics 47 (11) 1444 (2002)
https://doi.org/10.1134/1.1522115

Experimental determination of angular‐energy distributions of electrons backscattered by bulk gold and silicon samples

P. Gérard, J. L. Balladore, J. P. Martinez and A. Ouabbou
Scanning 17 (6) 377 (1995)
https://doi.org/10.1002/sca.4950170606

Proximity effects in electron beam lithography in SAL 601 resists on a Si-SiO2-Si substrate

A. Ouabbou, J.P. Martinez, F. Lalanne, P. Gérard and J.L. Balladore
Microelectronic Engineering 20 (4) 255 (1993)
https://doi.org/10.1016/0167-9317(93)90005-P