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Characterization and modeling of electrical resistivity of sputtered tungsten films
J. Ligot, S. Benayoun and J. J. Hantzpergue Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 19(3) 798 (2001) https://doi.org/10.1116/1.1355759
Microstructural study of boron doped diamond films by X-ray diffraction profiles analysis