Préparation et caractérisation de couches minces d'oxynitrure de phosphore destinées à la passivation d'InPH. Hbib, O. Bonnaud, A. Quemerais, M. Gauneau, J. L. Adam et R. MarchandJ. Phys. III France, 6 11 (1996) 1489-1506DOI: https://doi.org/10.1051/jp3:1996198
