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Optical Diagnostics of RF Argon and Xenon Magnetron Discharges

M.F. Dony, F. Debal, M. Wautelet, J.P. Dauchot, M. Hecq, J. Bretagne, P. Leray et A. Ricard

J. Phys. III France, 7 9 (1997) 1869-1876

DOI: 10.1051/jp3:1997228

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