Journal de Physique III

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Fabrication d'un réseau d'interconnexions haute densité pour modules avancés multi-puces par une technique de lift-off

J. Palleau, D. Jourdain, J. C. Oberlin, M. Alaimo, G. Argoud, D. Aubert, M. Beudon, M. J. Bouzid, D. Laviale, F. Templier et J. Torres

J. Phys. III France, 3 4 (1993) 793-804

DOI: 10.1051/jp3:1993164

J. Palleau

D. Jourdain

J. C. Oberlin

M. Alaimo

G. Argoud

D. Aubert

M. Beudon

M. J. Bouzid

D. Laviale

F. Templier

J. Torres

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