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Obtention de couches minces texturées de MoSe ₂ à partir de feuillets de Mo et de Te

(Reçu le 18 juin 1992, révisé le 8 septembre 1992, accepté le 8 octobre 1992)

Abstract
A process to obtain textured MoSe ₂ thin films is described. The films are obtained by annealing Mo and Te constituents, in thin films form, under Te and/or Se pressure. The films have been investigated by XPS analysis, X-ray analysis, scanning electron microscopy, transmission electron microscopy and optical and electrical measurements. Stoichiometric and textured MoSe ₂ thin films can be obtained. Measurements show that the thin films have better cristalline, optical and electrical properties than these of MoSe ₂ thin films obtained previously.

Résumé
Une méthode d'obtention de couches minces texturées de MoSe ₂ a été mise au point. Ces couches sont obtenues à partir de feuillets de Mo et de Te successivement superposés, puis traitées thermiquement en présence de vapeur de Te et/ou Se. Les couches obtenues sont étudiées par spectroscopie de photoélectrons (XPS), diffraction de rayons X, microscopie à balayage (MEB), microscopie électronique à transmission (MET) et par mesures optiques et électriques. Les. résultats montrent que des couches minces stcechiométriques et texturées de MoSe ₂ peuvent être obtenues. Leurs propriétés cristallines sont supérieures à celles obtenues antérieurement comme en témoignent les diagrammes de diffraction des rayons X ainsi que les caractéristiques optiques et électriques.