Resistance et bruit de contacts d'or evapore et pulverise sur GaSb de type p

L. Gouskov; A. Gouskov; M. Perotin; M. Vaienza; D. Rigaud; A. Sabir; H. Archidi

doi:doi:10.1051/jp3:1991139

Numéro		J. Phys. III France Volume 1, Numéro 4, April 1991


Page(s)		551 - 556
DOI		https://doi.org/10.1051/jp3:1991139

DOI: 10.1051/jp3:1991139
J. Phys. III France 1 (1991) 551-556

Resistance et bruit de contacts d'or evapore et pulverise sur GaSb de type p

L. Gouskov, A. Gouskov, M. Perotin, M. Vaienza, D. Rigaud, A. Sabir and H. Archidi

Centre d'Electronique de Montpellier, associé au CNRS (UA391), Université des Sciences et Techniques du Languedoc, place Eugène Bataillon, 34095 Montpellier Cedex 5, France

(Reçu le 30 avril 1990, accepté le 20 août 1990)

Abstract
We compare the resistance and the noise of gold contacts on p GaSb realized either by evaporation or by sputtering. We show the strong sensitivity of the low frequency noise to the quality of the contact.

Résumé
Nous comparons deux technologies de réalisation de contacts or-GaSb p naturel et GaSb p ⁺ diffusé Zn mettant en ceuvre l'évaporation thermique et la pulvérisation. Nous montrons la sensibilité du diagnostic de bruit pour l'évaluation de la qualité de ces contacts.