Real-time optical monitoring of spin coating

(Received 29 June 1993, accepted 28 September 1993)

Abstract
A novel application of optical interferometry, monitoring of spin coating, is shown to provide valuable information for the basic understanding of the process dynamics. This could increase the potential of spin coating for the production of films with required properties. Temporal evolution of spin-on glass films, in open air and saturated solvent atmospheres, is determined for 10-60 s spinning times.

Résumé
Nous montrons qu'une nouvelle application de l'interférométrie optique, le contrôle du dépôt à la tournette, fournie des informations fondamentales pour la compréhension de la dynamique du dépôt. Cette compréhension pourrait nous permettre d'améliorer la production à la tournette de couches de caractéristiques précises. L'évolution temporelle du dépôt de couches de verre, aussi bien en atmosphère ouverte que saturée en solvant, est déterminée pour des durées de centrifugation variant de 10 à 60 s.