DOI: 10.1051/jp3:1995144
J. Phys. III France 5 (1995) 537-544

Utilisation de lasers multi-electrodes en tant que mélangeur hyperfréquence

R. Hamelin¹, J.P. Vilcot¹, J.P. Gouy¹, D. Decoster¹, C. Carriere², B. Groussin² and V. Cargemel<sup>2

1</sup>  Institut d'Electronique et de Microélectronique du Nord, UMR-CNRS 9929-Département Hyperfréquence et Semiconducteurs, Domaine Universitaire et Scientifique de Villeneuve d'Ascq, Avenue Poincaré, BP. 69, 59652 Villeneuve d'Ascq Cedex, France
²  Thomson CSF semiconducteurs spécifiques-Dept. Optoélectronique, Route départementale 128, BP. 48, 91401 Orsay Cedex, France

(Reçu le 4 juillet 1994, révisé le 15 novembre 1994, accepté le 21 décembre 1994)

Abstract
The purpose of this paper is to describe a new technological process for the fabrication of Fabry-Pérot multi-electrodes lasers. Only two masks are required and we use self-alignment technics and exclusively optical photolithography. We will precise the motivation of the different technological choices that have been done and we will present the first results of an original use of these components as a microwave mixer.

Résumé
Le but de cet article est de décrire une approche technologique améliorée, pour la fabrication de lasers multi-électrodes de type Fabry-Pérot pour des applications hyperfréquences. Seuls deux masques sont nécessaires, et nous utilisons exclusivement la photolitographie optique. Nous préciserons les motivations des différents choix technologiques et nous présenterons les premiers résultats d'une utilisation originale de ces lasers en tant que mélangeur hyperfréquence.

© Les Editions de Physique 1995