Ondes de surface transverses sous un réseau de bandes métalliques ou de sillons gravés sur substrats piézoélectriques

(Reçu le 7 octobre 1994, révisé le 3 avril 1995, accepté le 3 avril 1995)

Abstract
This study is devoted to the theoretical calculation of the propagation characteristics of shear horizontal waves trapped in surface transverse wave (STW) resonators. The model implemented takes piezoelectricity into account and provides the principal parameters of the acoustic wave (propagation and attenuation coefficients, velocity, etc.) propagating under shallow groove or thin metal strip gratings. A numerical method has been used to resolve the equations of the problem. The results obtained are in good agreement with previous results without piezoelectricity. Calculation results are presented for delay lines designed with metal strip gratings deposited on AT-cut of quartz.

Résumé
On se propose dans cette étude de déterminer théoriquement les caractéristiques de propagation des ondes de cisaillement horizontal utilisées dans les résonateurs à ondes de surface transverses. Le modèle mis en oeuvre prend en compte la piézoélectricité du substrat et permet de prédire les principales propriétés physiques de l'onde élastique (constante de propagation, atténuation, vitesse, etc.) sous une série périodique de bandes métalliques ou de sillons gravés. La méthode de résolution est numérique et basée sur une méthode dite de la sécante. Elle donne des résultats en accord avec ceux de la littérature obtenus grâce à des modèles sans piézoélectricité. Les calculs développés correspondent au cas de lignes à retard constituées d'un réseau de fines bandes métalliques déposées sur une coupe AT de quartz.