DOI: 10.1051/jp3:1997214
J. Phys. III France 7 (1997) 1647-1660

Effet de la température de fabrication sur les propriétés structurales et morphologiques des couches épaisses de In ₂S ₃ "spray"

N. Bouguila¹, H. Bouzouita¹, E. Lacaze², A. Belhadj Amara³, H. Bouchriha⁴ and A. Dhouib<sup>1

1</sup>  L.P.M.S., Département de Génie Industriel, École Nationale d'Ingénieurs de Tunis, BP 37, le Belvédère, 1002, Tunisie
²  Groupe de Physique des Solides des Universités de Paris 6 et 7, Tour 23, 2 place Jussieu, 75005 Paris Cedex, France
³  Faculté des Sciences de Bizerte, Tunisie
⁴  L.P.M.C., Faculté des Sciences de Tunis, 1060 le Belvédère, Tunisie

(Reçu le 28 octobre 1996, révisé le 17 avril 1997, accepté le 7 mai 1997)

Abstract
We have investigated the substrate temperature effect on structural and morphological properties of thick layers deposited on glass substrate by spray method. X-ray diffraction has shown that the In ₂S ₃ is the main phase present in these films and that the structure and the allotropic form of this phase are affected by the substrate temperature. Analysis of these layers by Scanning Electronic Microscopy (SEM) and by Atomic Force Microscopy (AFM) revealed that a best crystallinity and homogeneity are approximately obtained for K.

Résumé
Nous avons étudié l'effet de la température du substrat sur les propriétés structurales et morphologiques de couches de In ₂S ₃ déposées sur des lames de verre par la méthode de spray. La diffraction des rayons X a montré que L'In ₂S ₃ est la phase principale présente dans ces films et que la structure et la forme allotropique de cette phase sont affectées par la température du substrat. L'analyse de ces couches par Microscopie Électronique à Balayage (MEB) et par Microscopie à Force Atomique (MFA) a montré qu'une meilleure cristallinité et une meilleure homogénéité sont obtenues pour des températures du substrat voisines de 613 K.

© Les Editions de Physique 1997