Journal de Physique III

Spectroellipsometric Investigation of LPCVD Polysilicon: As Deposited and After Hydrogenation

C. Flueraru, M. Gartner, D. Dascalu et C. Rotaru

J. Phys. III France, 6 2 (1996) 225-235

DOI: 10.1051/jp3:1996120

C. Flueraru

M. Gartner

D. Dascalu

C. Rotaru

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