Etude et étalonnage des déplacements d'un tube piézoélectrique utilisé dans le systeme de balayage d'un microscope à effet tunnel

(Reçu le 12 février 1990, révisé le 6juin et le 5 mars 1991, accepté le 22 mars 1991)

Abstract
Displacements of piezoelectric tube used in scanning system of tunneling microscopes have been studied both experimentally and theoretically. Coupling between x, y and z displacements is shown as well as the technique to overcome it.

Résumé
Les déplacements du tube piézoélectrique utilisé dans le système de balayage des microscopes à effet tunnel électronique et optique ont été étudiés expérimentalement et théoriquement. On montre l'importance des couplages entre les déplacements du tube dans les trois directions, x, y et z et la façon de les prendre en compte.