Characterization of interfaces by grazing incidence X-ray scattering

(Received 28 February 1994, accepted 20 June 1994)

Abstract
The advantages of the grazing incidence X-ray scattering geometry are emphasized and the basic expressions of scattered intensity are briefly recalled. The application of X-ray scattering to the structural characterization of interfaces is discussed on selected examples. Well chosen reciprocal space scans, both in-plane and out-of plane, are shown to provide complementary information on interfacial registry for coherent interfaces ; and on strain deformation, island or grain sizes for incoherent epilayers. The strength of the technique to analyze the atomic structure of interfacial phases is discussed.

Résumé
La géométrie de diffusion des rayons X en incidence rasante et les expressions de l'intensité diffractée sont brièvement rappelées. Les possibilités de la technique pour la caractérisation structurale des interfaces sont discutées sur quelques exemples, montrant que des informations complémentaires telles que la distance interfaciale pour des interfaces cohérentes, la déformation, la taille des îlots ou des grains pour des interfaces incohérentes, peuvent être obtenues par différents balayages dans l'espace réciproque. Les possibilités d'analyse de la structure atomique de phases interfaciales sont commentées.