Optimisation des conditions de fonctionnement d'un pilote plasma de 25 kW pour la purification du silicium

(Reçu le 25 juillet 1994, révisé le 6 décembre 1994, accepté le 3 février 1995)

Abstract
The development of the silicon purification process by melting under reactive thermal plasma, in progress to industrial transfer (100 kW level), requires to take into account the best energetic conditions to achieve a material with good photovoltaic properties. This study concerns the energy balance of a plasma pilot at 25 kW. the results point out the effect of gas composition (Ar or Ar-H ₂) and gas injection mode in the plasma torch (single or double flow) on the energy conversion and melting rate.

Résumé
Le développement du procédé de purification du silicium par fusion sous plasma thermique réactif, en cours de transfert industriel, exige de fixer les conditions énergétiques optimales de fonctionnement tout en respectant l'objectif qui consiste à élaborer un matériau présentant les meilleures photovoltaïques. L'étude présentée concerne les bilans énergétiques d'un pilote plasma de 25 kW. Les résultats soulignent le rôle de la composition du mélange plasmagène (Ar ou Ar-H ₂) et du mode d'injection des gaz dans l'applicateur plasma (simple ou double flux) vis à vis du rendement énergétique et de la vitesse de fusion.