Influence des paramètres de dépôt sur la morphologie de films minces de tétraborate de lithium obtenus par le procédé “PYROSOL"

V. Bornand; A. El Bouchikhi; Ph. Papet; E. Philippot

doi:doi:10.1051/jp3:1997161

Issue		J. Phys. III France Volume 7, Number 4, April 1997


Page(s)		853 - 865
DOI		https://doi.org/10.1051/jp3:1997161

DOI: 10.1051/jp3:1997161
J. Phys. III France 7 (1997) 853-865

Influence des paramètres de dépôt sur la morphologie de films minces de tétraborate de lithium obtenus par le procédé "PYROSOL"

V. Bornand, A. El Bouchikhi, Ph. Papet and E. Philippot

Laboratoire de Physicochimie des Matériaux Solides UMR CNRS 5617, UM II Sciences et Techniques du Languedoc, place Eugène Bataillon, CC 03, 34095 Montpellier Cedex 5, France

(Reçu le 15 avril 1996, révisé le 16 décembre 1996, accepté le 8 janvier 1997))

Abstract
Li ₂B ₄O ₇ piezo-electric thin films were prepared by "PYROSOL" process which is a useful method for the elaboration of thin films. Morphological development and crystallization of thin films are very dependent on the experimental parameters like the substrate temperature, the concentration and the relative proportion of the precursors in methyl alcohol. The effect of these various parameters were studied in order to obtain homogeneous, crystallized and oriented thin films.

Résumé
La réalisation de couches minces de matériaux piézo-électriques de Li ₂B ₄O ₇ par le procédé "PYROSOL" révèle une grande diversité de conditions de dépôt. La température du substrat, la composition des solutions de précurseurs et leur concentration conditionnent la morphologie et l'état de cristallisation des films. En particulier, l'obtention de couches minces denses, homogènes et présentant une orientation préférentielle nécessite des températures de substrat supérieures à 620 $^{\circ}$ C. L'influence de ces divers paramètres expérimentaux a été étudiée dans le but d'obtenir des dépôts homogènes, cristallisés et orientés.