La cryomicroélectronique

(Reçu le 6 mars 1990, accepté le 15 octobre 1990)

Abstract
The Integrated Circuits and the microelectronics devices working in temperatures lower than 100 K are studied by cryomicroelectronics. In this short review paper the development of this new branch of microelectronics is described. Particularly the advantages and the drawbacks of the cooling of integrated circuits and devices are listed. Then the current research axis are given. They correspond to two different approaches ; the " classic " one which is based to the materials used in the present VLSI technology and the innovative way which aims at using new H superconductors.

Résumé
L'objet de la cryomicroélectronique est l'étude des Circuits Intégrés et des composants microélectroniques à des températures inférieures à 100 K. Cet article de revue décrit très brièvement l'état d'avancement des connaissances relatives aux avantages et aux inconvénients des composants et Circuits Intégrés au Silicium fonctionnant à basse température. Ensuite on expose les axes de recherche actuels ; ils sont relatifs à deux approches : l'une, classique, est basée sur les matériaux utilisés actuellement dans la technologie de l'intégration à grande échelle; l'autre, novatrice, vise à utiliser les matériaux supraconducteurs à haute température critique.