Etude de monocouches par réflectométrie de rayons X blancs, influence de la dispersion anormale sur les franges de Kiessig

(Reçu le 9 juillet 1991, révisé et accepté le 8 novembre 1991)

Abstract
Metallic layers have been characterised using X-ray energy dispersive reflectometry. The source was the Bremsstrahlung from an X-ray tube and the detector, a SiLi diode. The energy values of the extrema of Kiessig fringes lead to the value of the thickness and the average density of the layer. Near an absorption edge of one of the constituents of the layer, fringe patterns appear perturbed and the influence of the anomalous dispersion term is studied.

Résumé
On montre que des monocouches métalliques peuvent être caractérisées en réflectométrie par dispersion d'énergie des rayons X. La source est le Bremsstrahlung émis par un tube et le faisceau réfléchi spéculairement est analysé à l'aide d'un détecteur silicium-lithium. A partir des valeurs de l'énergie où se situent les franges de Kiessig, il est possible de déduire l'épaisseur de la couche mince et d'estimer sa densité moyenne. Le système de franges est perturbé au voisinage de l'energie des seuils d'absorption des éléments constituant la couche, l'influence du terme de dispersion anormale peut être ainsi mis en évidence.