Numéro |
J. Phys. III France
Volume 3, Numéro 6, June 1993
|
|
---|---|---|
Page(s) | 1183 - 1188 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jp3:1993108 |
J. Phys. III France 3 (1993) 1183-1188
Formalisme rationnel le la méthode de détermination des contraintes résiduelles par diffraction des rayons X: application aux couches minces et multicouches
K. F. Badawi1, C. Kahloun2 and J. Grilhé11 Laboratoire de métallurgie physique, 86022 Poitiers, France
2 L.P.M.T.M., 93430 Villetaneuse, France
(Reçu le 22 décembre 1992, accepté le 19 mars 1993)
Abstract
The use of the rational formalism in the residual stress determination method
by X-ray diffraction improves the precision and the mathematical elegance of
this method. It eliminates the approximations made in the conventional formalism,
and corrects the results by more than 15% in certain case of thin films
and multilayers.
Résumé
L'utilisation du formalisme rationnel dans la méthode de détermination des contraintes
résiduelles par diffraction des rayons X améliore la rigueur, la précision et
l'élégance mathématique de la méthode. Elle permet d'éviter les approximations
faites dans le formalisme conventionnel, et apporte des corrections qui dépassent
15 % dans certains cas de couches minces et de multicouches.
© Les Editions de Physique 1993