Numéro
J. Phys. III France
Volume 3, Numéro 6, June 1993
Page(s) 1183 - 1188
DOI https://doi.org/10.1051/jp3:1993108
DOI: 10.1051/jp3:1993108
J. Phys. III France 3 (1993) 1183-1188

Formalisme rationnel le la méthode de détermination des contraintes résiduelles par diffraction des rayons X: application aux couches minces et multicouches

K. F. Badawi1, C. Kahloun2 and J. Grilhé1

1  Laboratoire de métallurgie physique, 86022 Poitiers, France
2  L.P.M.T.M., 93430 Villetaneuse, France

(Reçu le 22 décembre 1992, accepté le 19 mars 1993)

Abstract
The use of the rational formalism in the residual stress determination method by X-ray diffraction improves the precision and the mathematical elegance of this method. It eliminates the approximations made in the conventional formalism, and corrects the results by more than 15% in certain case of thin films and multilayers.

Résumé
L'utilisation du formalisme rationnel dans la méthode de détermination des contraintes résiduelles par diffraction des rayons X améliore la rigueur, la précision et l'élégance mathématique de la méthode. Elle permet d'éviter les approximations faites dans le formalisme conventionnel, et apporte des corrections qui dépassent 15 % dans certains cas de couches minces et de multicouches.



© Les Editions de Physique 1993