Numéro |
J. Phys. III France
Volume 3, Numéro 8, August 1993
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Page(s) | 1589 - 1601 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jp3:1993222 |
J. Phys. III France 3 (1993) 1589-1601
Surface instabilities of epitaxial films on a substrate
N. Junqua and J. GrilhéLaboratoire de Métallurgie Physique, U.A. 131 du C.N.R.S., Université de Poitiers, 40 avenue du Recteur Pineau, 86022 Poitiers, France
(Received 20 January 1993, accepted 1 June 1993)
Abstract
The energy variation of an epitaxial film on a substrate is calculated when
sinusoidal roughness appears at the surface, using the method of the surface
dislocation model. The energy variation is negative beyond a critical value
of wavelength which depends on the thickness of the film and on the ratio
of the shear moduli of substrate and film. The kinetic of roughness development
during film growing are discussed.
Résumé
La méthode des dislocations de surface est utilisée pour calculer la variation
d'énergie d'un film mince en épitaxie sur un substrat lorsqu'une rugosité
de forme sinusoïdale apparaît à sa surface. On détermine une longueur d'onde
critique dépendant du rapport des coefficients d'élasticité du substrat et du
film et aussi de l'épaisseur du film, au-delà de laquelle la variation
d'énergie est négative. On discute également de la cinétique du développement
de la rugosité.
© Les Editions de Physique 1993