Evolution des contraintes résiduelles dans des films minces de tungstène en fonction de l'irradiation

N. Durand; K. F. Badawi; P. Goudeau; A. Naudon

doi:doi:10.1051/jp3:1994110

Numéro		J. Phys. III France Volume 4, Numéro 1, January 1994


Page(s)		25 - 34
DOI		https://doi.org/10.1051/jp3:1994110

DOI: 10.1051/jp3:1994110
J. Phys. III France 4 (1994) 25-34

Evolution des contraintes résiduelles dans des films minces de tungstène en fonction de l'irradiation

N. Durand, K. F. Badawi, P. Goudeau and A. Naudon

Laboratoire de Métallurgie Physique (URA 131), Université de Poitiers, 48 av. du Recteur Pineau, 86022 Poitiers Cedex, France

(Reçu le 28 juin 1993, révisé le 10 septembre 1993, accepté le 7 octobre 1993)

Abstract
The influence of the irradiation dose upon the residual stresses in 1 000 Å tungsten thin films has been studied by two different techniques. Results show a relaxation of the strong initial compressive stresses $\sigma=- 4,5$ GPa) in virgin samples when the irradiation dose increases. The existence of a relaxation threshold is also clearly evidenced, it indicates a strong correlation between the thin film microstructure (point defects, grain size) and the relaxation phenomenon, and consequently, the residual stresses.

Résumé
Nous avons étudié, par deux méthodes différentes, l'évolution des contraintes résiduelles dans des couches minces de 1 000 Å de W en fonction de la dose d'irradiation. Ces expériences mettent en évidence une relaxation des fortes contraintes de compression ( $\sigma=- 4,5$ GPa) observées dans les échantillons vierges quand la dose de l'irradiation augmente. Notre étude montre par ailleurs, l'existence d'un seuil de relaxation et relie de façon indiscutable, la microstructure de la couche mince (défauts ponctuels, taille de grains) au phénomène de relaxation, donc aux contraintes elles-mêmes.