Elaboration par le procédé pyrosol de couches minces texturées de ZnO pour la réalisation de microcapteurs

(Reçu le 5 novembre 1993, révisé le 19 janvier 1994, accepté le 26 janvier 1994)

Abstract
The crystalline orientation of ZnO thin films deposited by an aerosol CVD process is studied with regard to the experimental conditions. The quality of the C-axis oriented growth depended on the substrate temperature, on the deposition rate and also on the hygrometric degree of the carrier gas. The quality of the gold sublayer influenced also the quality of the ZnO textured growth. Under a dry gas mixture N ₂-O ₂ at 495 C and with a deposition rate of 35 Å/mn, the texture ratio was less than -3.5 and the misorientation of the 002 line was less than 1.6 .

Résumé
L'orientation cristalline de couches minces de ZnO élaborées par le procédé pyrosol est étudiée en fonction des conditions de dépôt. La qualité de la texture selon l'axe C dépend de la température du substrat, de la vitesse de dépôt, du degré d'hygrométrie du gaz vecteur et également de la qualité de la sous-couche chrome/or. Pour des dépôts réalisés avec un mélange pur et sec d'azote et d'oxygène à 495 C et pour une vitesse de dépôt de 35 Å/mn, le rapport de texture est inférieur à -3,5 et la désorientation de la raie 002 est inférieure à 1,6 .