DOI: 10.1051/jp3:1994231
J. Phys. III France 4 (1994) 1659-1668

Recent advances in etched multilayer X-ray optics

J. M. André¹, A. Sammar¹, S. Bac^{1, 2}, M. Ouahabi¹, M. Idir^{1, 2}, G. Soullié^{1, 2} and R. Barchewitz<sup>1, 2

1</sup>  Laboratoire de Chimie Physique (LCP), Université Paris 6, U.A. CNRS 176, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 Paris Cedex 05, France
²  Laboratoire pour l'Utilisation du Rayonnement Electromagnétique (LURE), Université Paris 11, 91405 Orsay Cedex, France

(Received 19 November 1993, revised 31 January 1994, accepted 3 March 1994)

Abstract
We present the recent advances achieved in the Laboratoire de Chimie Physique of Université Paris 6, in the field of the soft X-ray etched multilayer optics. Modellings and characterizations are given for the laminar multilayer amplitude gratings, the highly resolutive X-ray multilayer monochromators, the X-ray polychromators and the Bragg-Fresnel multilayer linear lenses.

Résumé
Nous présentons les récents progrès réalisés au Laboratoire de Chimie Physique de l'Université Paris 6 dans le domaine de l'optique X utilisant des multicouches gravées. Nous donnons des résultats concemant les réseaux d'amplitude multicouches, les monochromateurs multicouches à haute résolution, les polychromateurs X et les lentilles linéaires multicouches dites de Bragg-Fresnel.

© Les Editions de Physique 1994