Diagnostics laser dans les plasmas froids

(Reçu le 19 janvier 1995, révisé le 3 avril 1995, accepté le 10 avril 1995)

Abstract
Laser spectroscopic techniques most currently used to study and characterize the cold plasmas are presented. Typical examples are used to demonstrate that laser diagnostics, associated with emission spectroscopy, allow to determine with a good spatial and temporal resolution several fundamental parameters of the chemical physics occuring in electrical discharges and plasmas. Some laser diagnostics which can be used in real time process control are described.

Résumé
On présente les principales méthodes de spectroscopie laser utilisées pour étudier et caractériser les plasmas froids. A l'aide d'exemples on montre comment les techniques laser, associées à la spectroscopie d'émission, permettent de déterminer avec une bonne résolution spatiale et temporelle un certain nombre de paramètres fondamentaux caractérisant la physicochimie des décharges électriques et des plasmas. Quelques diagnostics spectroscopiques pouvant être utilisés, en temps réel, pour le contrôle de procédés plasmas sont décrits.