Ondes de surface transverses sur plaques piézoélectriques avec réseaux de bandes metalliques déposés sur les 2 faces

(Received 15 March 1995, accepted 13 June 1995)

Abstract
A theoretical model has been implemented to study surface transverse waves propagating on piezoelectric plates of finite thickness with thin metal strip gratings on both sides. Calculations have been performed for AT-cuts of quartz of thickness varying from 140 to 120  m. The spatial period of the gratings was fixed to 20  m (acoustic wavelength equal to 40  m). The dispersion curve relating the angular frequency to the wavenumber presents more than one stopband as found in the usual analyses on semi-infinite substrates. These multiple high-frequency stopbands allow to design and realize high stability resonators or highly sensitive sensors for gravimetry, accelerometer applications, etc.

Résumé
Un modèle théorique a été mis en oeuvre pour l'étude des propriétés des ondes de surface transverses se propageant sur des plaques piézoélectriques d'épaisseur finie avec des réseaux de fines bandes métalliques déposés sur chaque face. Les calculs ont été effectués pour des plaques de quartz voisines de la coupe AT et d'épaisseur variant de 140 à 120  m. La périodicité des réseaux en regard a été fixée à 20  m (longueur d'onde acoustique 40  m). La courbe de dispersion reliant la pulsation au nombre d'ondes présente plusieurs bandes d'arrêt incluant celle habituellement mise en évidence pour un substrat semi-infini. L'existence de ces multiples bandes d'arrêt haute fréquence ouvre de nouvelles perspectives pour la réalisation de résonateurs ultrastables ou de capteurs de très grande sensibilité gravimétrique, accélérométrique, etc.