| Numéro |
J. Phys. III France
Volume 6, Numéro 5, May 1996
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| Page(s) | 603 - 612 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp3:1996143 | |
J. Phys. III France 6 (1996) 603-612
Absorption Coefficients of SF 6, SF 4, SOF 2 and SO 2F 2 in the Vacuum Ultraviolet
C. Pradayrol1, A.M. Casanovas2, I. Deharo1, J.P. Guelfucci2 and J. Casanovas11 Centre de Physique des Plasmas et de leurs Applications de Toulouse, URA 277, Université Paul Sabatier, 118 route de Narbonne, 31062 Toulouse Cedex, France
2 Laboratoire de Biophysique et de Biomathématiques, Faculté de Pharmacie, Université Paul Sabatier, 35 chemin de Maraîchers, 31062 Toulouse Cedex, France
(Received 2 November 1995, revised 17 January 1996, accepted 6 February 1996)
Abstract
Absorption coefficients
k0(m
-1 100 kPa
-1) of SF
6 and of its main gaseous by-products SF
4, SOF
2 and SO
2F
2 were measured in the VUV region. The experiments were carried out at a temperature of 298 K and a spectral resolution of
0.1 nm over the wavelength range
115 - 180 nm for SF
6,
115 - 220 nm for SF
4,
120 - 195 nm for SOF
2 and
120 - 210 nm for SO
2F
2. The highest absorption coefficient values were obtained for SF
4 and the lowest for SF
6.
Résumé
Les coefficients d'absorption
k0(m
-1 100 kPa
-1) du SF
6 et de ses principaux produits de décomposition gazeux, SF
4, SOF
2 et SO
2F
2 ont été mesurés dans le domaine de l'ultraviolet sous vide. Les expériences ont été réalisées à la température de 298 K avec
une résolution de 0,1 nm dans la gamme 115-180 nm pour le SF
6, 115-220 nm pour le SF
4, 120-195 nm pour le SOF
2 et 120-210 nm pour le SO
2F
2. Les coefficients d'absorption les plus élevés ont été mesurés pour le SF
4 et les plus faibles pour le SF
6.
© Les Editions de Physique 1996