Étude théorique et expérimentale des distributions angulaires et énergétiques corrélées d'électrons rétrodiffusés par des cibles d'or et de silicium dans un microscope à balayage

(Reçu le 2 juin 1995, révisé le 30 août 1996, accepté le 4 février 1997)

Abstract
An original device, previously described [1,2] allows to determine the fraction of normally incident electron beam on a bulk specimen that is backscattered in a given direction , with an energy E less than or equal to the incident energy E₀. We have deduced from the experimental results the different angular and energetic distributions of backscattered electrons; in certain cases, a normalisation of these distributions is performed. So, we show off properties of the backscattering phenomenon that are independent of the target material and of the energy range under study. The last part presents the results of Monte-Carlo simulation. Their comparison with the experimental results allows to validate this model.

Résumé
Un dispositif expérimental, décrit précédemment [1,2] permet de déterminer, pour un faisceau d'électrons incidents normalement sur un échantillon massif, le nombre d'électrons rétrodiffusés dans une direction avec une énergie E inférieure ou égale à l'énergie incidente E₀. Les différentes distributions angulaires et en énergie sont déduites des résultats expérimentaux et représentées par des fonctions réduites ; dans certains cas, une normalisation est réalisée. Nous pouvons ainsi mettre en évidence des propriétés du phénomène de rétrodiffusion qui sont indépendantes du matériau cible et du domaine en énergie considéré (10-40 keV). La dernière partie est consacrée à la présentation des résultats obtenus par simulation de Monte-Carlo. Leur confrontation avec les résultats expérimentaux permet de confirmer la validité de cette modélisation de la rétrodiffusion.