Journal de Physique III

Characterization of stress in semiconductor wafers using birefringence measurements

E. M. Gamarts, P. A. Dobromyslov, V. A. Krylov, S. V. Prisenko, E. A. Jakushenko et V. I. Safarov

J. Phys. III France, 3 5 (1993) 1033-1049

DOI: 10.1051/jp3:1993180

E. M. Gamarts

P. A. Dobromyslov

V. A. Krylov

S. V. Prisenko

E. A. Jakushenko

V. I. Safarov

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