Numéro
J. Phys. III France
Volume 1, Numéro 1, January 1991
Page(s) 125 - 139
DOI https://doi.org/10.1051/jp3:1991255
DOI: 10.1051/jp3:1991255
J. Phys. III France 1 (1991) 125-139

Etude et réalisation d'un détecteur d'électrons rétrodiffusés à faible bruit pour l'imagerie in situ

H. El Abdary1, P. Destruel2, A. Bastié1 and J. L. Franceschi1

1  Centre d'Elaboration des Matériaux et d'Etudes Structurales, Laboratoire d'Optique Electronique, C.N.R.S., 31055 Toulouse Cedex, France
2  Laboratoire de Génie Electrique, Université Paul Sabatier, 31062 Toulouse Cedex, France

(Reçu le 18 décembre 1989, accepté le 11 octobre 1990)

Abstract
A backscattered electron detector (BSE) with flexible light pipe utilizing optical fibres between the scintillator and the photomultiplier tube was constructed and set up in our transportable scanning microscope (MEBIS). It has a good detection quantum efficiency (DQE), a large bandwidth and is well adapted for chemical characterisation of bulk specimens.

Résumé
Un détecteur d'électrons rétrodiffusés (BSE) avec une liaison flexible par faisceau de fibres optiques entre le scintillateur et le photomultiplicateur a été élaboré et installé dans notre Microscope Electronique à Balayage In Situ (MEBIS). Il possède une bonne efficacité quantique de détection (DQE), une large bande passante et une résolution en numéro atomique Z bien adaptée à la caractériation chimique de la surface des échantillons massifs étudiés.



© Les Editions de Physique 1991

Current usage metrics show cumulative count of Article Views (full-text article views including HTML views, PDF and ePub downloads, according to the available data) and Abstracts Views on Vision4Press platform.

Data correspond to usage on the plateform after 2015. The current usage metrics is available 48-96 hours after online publication and is updated daily on week days.

Initial download of the metrics may take a while.