Etude et réalisation d'un détecteur d'électrons rétrodiffusés à faible bruit pour l'imagerie in situ

H. El Abdary; P. Destruel; A. Bastié; J. L. Franceschi

doi:doi:10.1051/jp3:1991255

Numéro		J. Phys. III France Volume 1, Numéro 1, January 1991


Page(s)		125 - 139
DOI		https://doi.org/10.1051/jp3:1991255

DOI: 10.1051/jp3:1991255
J. Phys. III France 1 (1991) 125-139

Etude et réalisation d'un détecteur d'électrons rétrodiffusés à faible bruit pour l'imagerie in situ

H. El Abdary¹, P. Destruel², A. Bastié¹ and J. L. Franceschi¹

¹ Centre d'Elaboration des Matériaux et d'Etudes Structurales, Laboratoire d'Optique Electronique, C.N.R.S., 31055 Toulouse Cedex, France
² Laboratoire de Génie Electrique, Université Paul Sabatier, 31062 Toulouse Cedex, France

(Reçu le 18 décembre 1989, accepté le 11 octobre 1990)

Abstract
A backscattered electron detector (BSE) with flexible light pipe utilizing optical fibres between the scintillator and the photomultiplier tube was constructed and set up in our transportable scanning microscope (MEBIS). It has a good detection quantum efficiency (DQE), a large bandwidth and is well adapted for chemical characterisation of bulk specimens.

Résumé
Un détecteur d'électrons rétrodiffusés (BSE) avec une liaison flexible par faisceau de fibres optiques entre le scintillateur et le photomultiplicateur a été élaboré et installé dans notre Microscope Electronique à Balayage In Situ (MEBIS). Il possède une bonne efficacité quantique de détection (DQE), une large bande passante et une résolution en numéro atomique Z bien adaptée à la caractériation chimique de la surface des échantillons massifs étudiés.