Ajustage de résistances électriques enterrées par application d'impulsions de haute tension

Pierre Abelard

doi:doi:10.1051/jp3:1993166

Numéro		J. Phys. III France Volume 3, Numéro 4, April 1993


Page(s)		823 - 832
DOI		https://doi.org/10.1051/jp3:1993166

DOI: 10.1051/jp3:1993166
J. Phys. III France 3 (1993) 823-832

Ajustage de résistances électriques enterrées par application d'impulsions de haute tension

Pierre Abelard

E.N.S.C.I., URA CNRS "LMCTS", 47-73 Av. A. Thomas, 87065 Limoges Cedex, France

(Reçu le 25 mai 1992, accepté le 19 janvier 1993)

Abstract
The aim of this study is to examine the possibility of a pulse trimming method to adjust the values of buried glaze resistors in multilayer interconnection circuits. Three inks have been tested (100 $\Omega/\blacksquare$ , 1 k $\Omega/\blacksquare$ , 10 k $\Omega/\blacksquare$ ) and the influence of several parameters (amplitude, duration, number of applied pulses) has been studied. An interpretation of the results is given.

Résumé
Le but de cette étude est d'examiner la possibilité d'ajuster des résistances enterrées, cofrittées à basse température dans un réseau d'interconnexion multicouches (MS3D), par application d'impulsions de haute tension. Trois encres résistives ont été étudiées (100 $\Omega/\blacksquare$ , 1 k $\Omega/\blacksquare$ , 10 k $\Omega/\blacksquare$ ). L'influence des différents paramètres (amplitude, durée, nombre d'impulsions) est examinée. Une interprétation des résultats obtenus est proposée.