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Issue
J. Phys. III France
Volume 2, Number 3, March 1992
Page(s) 295 - 302
DOI https://doi.org/10.1051/jp3:1992128
DOI: 10.1051/jp3:1992128
J. Phys. III France 2 (1992) 295-302

Dislocations as sinks for self-interstitials in gold doped silicon

B. Pichaud and G. Mariani

Laboratoire de Physique Cristalline, Faculté des Sciences et Techniques de Saint-Jérôme, case 151 Avenue Escadrille Normandie-Niemen, 13397 Marseille Cedex 13, France

(Received 21 June 1991, revised and accepted 3 December 1991)

Abstract
The concentration of substitutional atoms $N_{\rm Aus}$, transformed by the kick-out mechanism as gold diffusion proceeds in silicon, was measured as a function of $N_{\rm D}$, the density of dislocations introduced by a well-controlled deformation procedure. Two domains $N_{\rm D}<10^4$ cm -2 and $N_{\rm D}>10^7$ cm -2 in which $N_{\rm Aus}$ was found to be independent of $N_{\rm D}$ and an intermediate domain in which $N_{\rm Aus}$ varied as $N_{\rm D}^{1/2}$ were observed in agreement with the theory.

The value of the sink efficiency $\gamma$ was found to be 0.3, higher than the previously reported measurements, i.e. $\gamma$ is sensitive to the type of dislocation concerned. However a wide transient zone between the $N_{\rm D}^{1/2}$ law and the constant value above 107 cm -2 was observed which is not yet fully elucidated.

Résumé
La quantité d'atomes d'or substitutionnels $N_{\rm Aus}$ transformés au cours de la réaction de "kick-out" a été mesurée en fonction de $N_{\rm D}$ la densité de dislocations introduites de façon contrôlée dans le silicium FZ. On obtient deux domaines $N_{\rm D}<10^4$ cm -2 et $N_{\rm D}>10^7$ cm -2 où $N_{\rm Aus}$ ne dépend pas de la densité de dislocations et un domaine intermédiaire où $N_{\rm Aus}$ varie suivant une loi en $N_{\rm D}^{1/2}$ conformément à la théorie.

La valeur de l'efficacité de piège $\gamma$ trouvée est 0,3, plus élevée que ce qui a déjà été rapporté par d'autres auteurs, cela montre que ce paramètre est sensible au type de dislocations concerné. Cependant, la présence d'une large zone transitoire entre cette loi en $N_{\rm D}^{1/2}$ et la valeur constante au-delà de 107 cm -2 n'est pas encore complètement expliquée.



© Les Editions de Physique 1992