Etude théorique des paramètres principaux réglant la sensibilité des capteurs d'accélération à cristal de quartz

(Reçu le 24 février 1994, accepté le 4 juillet 1994)

Abstract
A theoretical analysis of quartz accelerometers is performed to determine their optimal mechanical and sensitivity performances. A general analytical model is used to investigate the parameters and their effects on the sensitivity of these sensors. The analysis of physical characteristics shows that feasibility and performances depend on three factors such as dimensions of the quartz plate, quantity of holders located at the crystal edge and location of these holders with respect to the crystal's crystallographic reference. This study is applied to various design sensors with different supporting quartz crystal. The conditions on parameters are given to achieve optimum performances.

Résumé
Une étude théorique de la sensibilité des capteurs d'accélération à cristal de quartz est présentée. Son but est d'optimiser les performances mécaniques et métrologiques de ces capteurs. Les paramètres sensibles sont mis en évidence. L'analyse des caractéristiques physiques démontre que la faisabilité et les performances des accéléromètres à quartz dépendent, pour une coupe donnée du cristal, de trois facteurs : les dimensions de la lame de quartz, le nombre de liaisons à la périphérie du cristal et la position de ces liaisons par rapport à la référence cristallographique. L'étude est appliquée aux cas des capteurs bipodes, multipodes et monopodes. Pour chaque type de capteur, les valeurs des paramètres sensibles correspondant aux performances optimales sont précisées.