Nucléation et croissance de films déposés par ablation laser sur substrat de MgO(001)

(Reçu le 1$^{er}$ septembre 1994, accepté le 9 novembre 1994)

Abstract
In the field of superconducting devices devoted to microwave applications, the crystalline texture of high quality thin films based on YBa ₂Cu ₃O is of primary importance. This study presents the formation of this texture on MgO substrates with the nucleation and growth steps up to a film thickness of 300 nm as observed by means of AFM, HRTEM and XRD. The influence of deposition temperature on the growth mode is shown and a nucleation/growth model is discussed. The minimum roughness of textured films, 300 nm thick and  mm ² in size is as slow as 2 nm.

Résumé
Dans le cadre de la réalisation de composants supraconducteurs de haute qualité à base du composé YBa ₂Cu ₃O destinés aux applications en hyperfréquences, le contrôle de la texture cristalline des films est de première importance. La formation de celle-ci sur substrat MgO est étudiée depuis la nucléation jusqu'à une épaisseur de 300 nm au moyen de la microscopie à force atomique, de la microscopie électronique en transmission à haute résolution et de la diffraction des rayons X. L'influence de la température de dépôt sur le mode de croissance est abordée et un modèle de nucléation/croissance est discuté. La rugosité minimale des films d'épaisseur 300 nm et de dimensions  mm ² de texture est voisine de 2 nm.