Mesure de circuits MMIC en boîtier par autocalibrage TRL de 2 à 18 GHz, confirmation et validation d'une analyse théorique

(Reçu le 14 janvier 1991, révisé et accepté le 26 septembre 1991)

Abstract
In this article, some microwave measurement methods and error corrections are summarised. The calibration techniques, as well as some examples and verification are shown. The principle of the TRL self-calibration method is detailed and this procedure was used for characterisation of a GaAs MMIC microstrip line on. A test fixture was designed and realised. It presents a good repeatability. This test fixture enabled the precise characterisation of this monolithic line for different applied voltages. Finally, experimental results were compared with theoretical results obtained by the modified Spectral Domain Technique, taking into account the thickness and conductivity of the metallic strips. The experimental results, between 2-18 GHz, confirmed the theoretical results but demonstrated the limit of measurement by means of bonding wires which are very dispersive above 10 GHz.

Résumé
Quelques méthodes de mesure hyperfréquence et de correction d'erreurs sont résumées dans cet article. Des techniques de calibrage sont aussi décrites. Des exemples de calibrage et de vérification au moyen d'éléments connus sont montrés. Le principe de l'autocalibrage TRL est détaillé, il est appliqué pour la caractérisation d'une ligne microruban à contact schottky de type MMIC sur GaAs. Une monture de test, dans un boîtier en laiton, est conçue et réalisée. Elle présente une bonne reproductibilité. Elle a permis la caractérisation précise de cette ligne monolithique pour différentes tensions de polarisation continue. L'analyse théorique repose sur la Méthode Spectrale Généralisée, améliorée pour tenir compte de l'épaisseur non nulle et la conductivité finie des métallisations. Les résultats expérimentaux obtenus entre 2 et 18 GHz, confirment les résultats théoriques mais montrent la limite de mesure au moyen de fils d'accès soudés par thermocompression au-delà de 10 GHz.