Analyse de l'état mécanique et microstructural de films minces supraconducteurs YBa Cu O par diffraction des rayons X

(Reçu le 21 décembre 1995, révisé le 25 juin et le 11 septembre 1996, accepté le 4 octobre 1996)

Abstract
Mechanical and microstructural analysis in a 100 nm thin film is presented in this study. Using X-ray diffraction with a tensorial approach, we have determined stresses, strains, stress-free lattice parameters, microdistorsions and diffracting coherent domains size. Stress-free lattice parameters are higher than the bulk values. A high value of stresses is explained as a combination of coherent stresses, thermal stresses and intrinsic ones. Diffraction peaks line profiles analysis suggests grain boundaries presence as well as high lattice elastic microdistorsions.

Résumé
Cette étude présente une analyse de l'état mécanique et microstructurale dans un film mince de 100 nm d'épaisseur d'YBCO déposé sur un substrat de MgO. En utilisant la diffraction des rayons X couplée à une approche tensorielle, nous avons déterminé les déformations, les contraintes, les paramètres libres de contraintes, les microdistorsions élastiques ainsi que la taille des domaines cohérents de diffraction. Les paramètres libres de contrainte sont supérieurs à ceux du massif. Une valeur élevée des contraintes est expliquée à partir des contraintes de cohérence, des contraintes thermiques et intrinsèques. L'analyse des profils des pics de diffraction suggère la présence de sous-joints et de distorsions élastiques élevées au niveau des mailles cristallographiques.