Étude d'un plasma de SF hors d'équilibre thermique

(Reçu le 29 octobre 1996, révisé le 5 mars 1997, accepté le 10 mars 1997)

Abstract
The influence of several parameters: vibrational temperature, thermal disequilibrium, pressure, copper vapours on the composition and heat capacity of a plasma formed in SF ₆ are studied. The effects of these parameters on chemical reactions and plasma compound are discussed. For example, we show that the concentration of negative charged particle decreases as the thermal disequilibrium increases.

Résumé
L'influence des paramètres suivants : température de vibration, déséquilibre thermique, pression et vapeurs de cuivre sur la composition et la capacité calorifique d'un plasma de SF ₆ hors d'équilibre thermique est étudiée. Les effets de ces paramètres sur les réactions chimiques et le comportement du plasma sont discutés. Par exemple, nous montrons que la concentration des espèces chimiques chargées négativement diminue à mesure que le déséquilibre thermique augmente.